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目前在有机废气处理领域中，研究较多应用较广的是这种热破坏法，尤其是在低浓度有机废气的处理上，它的优势和效果都是十分显著的。

热破坏法可以分为两方面来进行，一种是直接火焰燃烧，是将有机物在气流中直接燃烧和辅助燃料燃烧的方法。还有一种是催化燃烧，使有机物在气流中被加热，并在催化床层作用下加快有机物化学反应。
相比之下，直接火焰燃烧在适当温度和保留时间条件下，才能达到99%的热处理效率；而催化燃烧需要的保留时间更少、温度更低，因为有催化剂在有机废气处理系统中起着重要作用。